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We not only manufacture plasma equipment but also assist our customers, from preliminary tests and experiments in IOT's own facilities to process development and optimization. The IOT customers benefit from the opportunities of extensive preliminary tests and a customized process development in existing plasma and ion beam systems in IOT's own development laboratory in Leipzig.
Since more than 10 years the IOT GmbH develops customized plasma and ion beam equipment for thin film and surface technologies. IOT GmbH manufactures turn-key projects, including a process development, and can also supply individual modules, such as plasma and ion beam sources. First, the volume of the stainless steel container is evacuated, then a special process gas is introduced, in highly diluted pressure (about 10 000 times less than the normal air pressure).  A low-pressure plasma is ignited by energy input from a plasma source, which is obtained by selective heating of the electrons. Ion beam sources are nothing more than low-pressure plasmas in a separate galvanically decoupled discharge chamber which is closed at one end with a semi-transparent ion optics.   By applying additional electrical potential, the ions are extracted from the plasma of the discharge chamber and selectively accelerated.
Plasmaanlagen fur die Plasma-Immersions-Ionenimplantation (PIII) auch in Kombination mit Sputterquellen zur gleichzeitigen Beschichtung (PIIID).
Neben dem eigentlichen Anlagenbau begleiten wir unsere Kunden von Vorversuchen und Tests in den IOT-eigenen Anlagen bis zur Prozessentwicklung und -optimierung.


Seit uber 10 Jahren beschaftigt sich IOT mit der Entwicklung kundenspezifischer Plasma- und Ionenstrahlanlagen fur die Dunnschicht- und Oberflachentechnik und als Besonderheit auch mit speziellen Plasmaanlagen fur die Plasma-Immersions-Ionenimplantation (PIII, PIIID). Die IOT ist dabei Hersteller gesamter Anlagen inklusive einer Prozessentwicklung sowie Systemlieferant einzelner Baugruppen, den Plasma- und Ionenstrahlquellen. Eine PIIID-Anlage sowie eine Vakuumanlage mit verschiedenen Ionenstrahlquellen betreibt die IOT im eigenen Entwicklungslabor in Leipzig.
Zuerst wird das Volumen des Edelstahlbehalters evakuiert, anschlie?end ein spezielles Prozessgas eingelassen, allerdings bei stark verdunntem Druck (ca. Ionenstrahlquellen sind nichts anderes als Niederdruckplasmen in einem separaten galvanisch entkoppelten Entladungsgefa?, welches einseitig mit einer teiltransparenten Ionenoptik abgeschlossen ist. Plasmabehandlung kleiner und gro?flachiger Substrate, Plasmareinigung, Plasmaaktivierung, Plasma-Immersions-Ionenimplantation (PIII), Plasma-Immersions-Ionenimplantation Deposition (PIIID), Ionenstrahlatzen (IBE, IBF), reaktives Ionenstrahlatzen (RIBE, CAIBE), Ionenstrahlsputtern. The instrument is an open air 400 KV ion implanter*, manufactured by National Electrostatics Corp. Hierbei profitieren die IOT-Kunden von den Moglichkeiten umfangreicher Vorversuche und einer ma?geschneiderten Prozessentwicklung in einer der vorhandenen Plasma- und Ionenstrahlanlagen im IOT-eigenen Entwicklungslabor in Leipzig.


Interessierten Kunden stehen damit umfangreiche Moglichkeiten zur Verfugung, um Versuche und Tests zusammen mit der IOT durchzufuhren. Durch Anlegen von zusatzlichen elektrischen Potentialen werden die Ionen aus dem Plasma des Entladungsgefa?es herausgezogen und gezielt beschleunigt. Durch Energieeinkopplung mittels einer Plasmaquelle wird ein Niederdruckplasma gezundet, welches uber selektive Heizung der Elektronen erhalten wird. In this unique design, NEC took the best hardware and technology available on the market and put together a state-of-the-art instrument unique in the world in terms of characteristics. Gas? ??? Solid Source? 200??? ??? ?? Species change? ??? ?? ???? P.M ??? ??? ??? ??, ???? ???? ??? ??? ?? ??? ??? ??? ?? ??.
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Comments to “Faraday cup in ion implantation history”

  1. KaRiDnOy_BaKiNeC writes:
    Earthquake Engineering Research Facility at UBC, we're.
  2. Alisina writes:
    Obtaining much more and a lot page could be out from our leaders since 911.